工業廢氣處理設備主要大類分為催化燃燒設備、活性炭吸附裝置、除臭設備、除塵設備、噴淋塔設備、低溫等離子體設備、脫硫脫硝設備等，不同的設備其設計的原理主要是根據工業所排放的廢氣成分、氣味、風量等因素，本文以廢氣處理脫硫脫硝設備為例進行設備講解。

　　脫硫脫硝設備采用的是選擇性非催化還原法脫硝技術，以爐膛為反應器在溫度為850～1100℃的區域范圍內用NH3、尿素等還原劑迅速熱分解成NH3并與煙氣中的NOx進行選擇性反應，這時廢氣中所含有的NOx被還原為氮氣和水，最后達到工業廢氣凈化的效果。

　　脫硫脫硝設備是一種在除塵裝置的基礎上加上脫硫的處理效果，脫硫除塵器一般采用的是濕式脫硫除塵器，濕式脫硫除塵器又可以分為沖擊水浴脫硫除塵和水膜脫硫除塵等，因此脫硫脫硝設備不僅可以起到廢氣中的脫硫脫硝效果而且還不會造成二次的污染。

　　設備分為爐內和爐后脫硫技術，對于部分含有灰渣的建材產品的制作這一領域產生的工業廢氣可以用爐內脫硫技術先減少廢氣中二氧化硫的含量，減少二氧化硫的含量可以減輕對于設備管道的腐蝕，延長設備的使用壽命。

　　印染紡整、水泥化工、鋼鐵冶煉、火力發電、食品飲料、皮革鞣制、燃氣鍋爐、燒結機類、熔爐，爐窯等的工業產生的廢氣都是含有硫、硝成分，因此是可以用脫硫脫硝的除塵設備進行處理。